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常温键合机

主要特长

    ★ 常温(室温)键合工艺下可以得到与母材相同的键合强度

    ★ 键合时不会发生热变形/热应力

    – Device的品质非常安定

    – 容易对应微细化工艺

    ★ 不需要加热/冷却的时间 不需要退火

    – 实现高效生产

    ★ 键合对象材料可选范围广泛

    – 硅系材料、金属材料、化合物半导体材料、光学材料、

    氧化物单结晶材料等均可键合

    – 可以实现异种材料间的键合


主要规格

※基板尺寸
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