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化合物半导体量产领域
微纳米光学领域
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化合物半导体量产领域
微纳米光学领域
全自动双面光刻机 MA-4200系列
*2/4/6寸wafer兼容
*EAP/SCES GEM 对应
全自动双面光刻机 MA-4300系列
*6/8寸 兼容
*高速稳定全自动运行
全自动双面光刻机 MA-5301系列
*6寸/8寸/12寸兼容（smif/foup对应）
*高速稳定全自动运行
手动光刻机 DA-1000系列
*对应玻璃、Wafer、胶片等基材的实验研究用手动单面曝光机。
*可兼容4寸以下wafer以及碎片
半自动光刻机 MA-1000系列
*可兼容8寸 6寸 4寸碎片
常温键合机
★ 常温(室温)键合工艺下可以得到与母材相同的键合强度 ★ 键合时不会发生热变形/热应力
