主要特长
利用本公司独创的高速图像处理技术, 实现了Wafer与掩膜的高精度对位。
装载机侧和卸载机侧最多可设置两个篮具（选购项）。
备有冷却机构，可进行基板台与掩膜的温度管理（选购项）。
搭载本公司独创的镜面光学系统爆光灯房（LAMP HOUSE）。从而实现了照射面内的均匀性以及高照度。
搭载非接触预对位系统（PREALIGNER）。从而实现了高精度进给且保证基板不受任何损伤。
搭载有自动掩膜更换机。并可支持掩膜存放库。可放置最多10片MASK
